Nettoyage chimique humide de surfaces silicium (appliqué au recyclage), nettoyage chimique humide et préparation de surface d'alliages silicium-germanium et de couches de germanium pur / Alexandra Abbadie ; sous la direction de Pascal Besson, Abel Rousset
Date : 2004
Type : Livre / Book
Type : Thèse / ThesisLangue / Language : français / French
Circuits intégrés -- Décontamination
Contamination de surfaces
Germanium -- Composés
Silicium -- Composés
Morphologie mathématique
Collection : Lille-thèses / Atelier de reproduction des thèses / Lille : Atelier national de reproduction des thèses , 1983-2017
Relation : Nettoyage chimique humide de surfaces silicium (appliqué au recyclage), nettoyage chimique humide et préparation de surface d'alliages silicium-germanium et de couches de germanium pur / Alexandra Abbadie ; sous la dir. de Pascal Besson, Abel Rousset / [S.l.] : [s.n.] , 2004