Nettoyage chimique humide de surfaces silicium (appliqué au recyclage), nettoyage chimique humide et préparation de surface d'alliages silicium-germanium et de couches de germanium pur / Alexandra Abbadie ; sous la dir. de Pascal Besson, Abel Rousset

Date : 2004

Editeur / Publisher : [S.l.] : [s.n.] , 2004

Type : Livre / Book

Langue / Language : français / French

Circuits intégrés -- Décontamination

Contamination de surfaces

Germanium -- Composés

Silicium -- Composés

Morphologie mathématique

Abbadie, Alexandra (19..-....) (Auteur / author)

Rousset, Abel (19..-.... ; chimiste) (Directeur de thèse / thesis advisor)

Besson, Pascal (19..-....) (Directeur de thèse / thesis advisor)

Université Toulouse 3 Paul Sabatier (1969-....) (Organisme de soutenance / degree-grantor)

Relation : Nettoyage chimique humide de surfaces silicium (appliqué au recyclage), nettoyage chimique humide et préparation de surface d'alliages silicium-germanium et de couches de germanium pur / Alexandra Abbadie ; sous la direction de Pascal Besson, Abel Rousset / Grenoble : Atelier national de reproduction des thèses , 2004