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Caractérisation de lacunes d'oxygène dans les diélectriques à haute permittivité à destination des transistors « High-k Metal Gate » / Mathias Alemany y Palmer ; sous la direction de Marie-France Barthe

Date :

Editeur / Publisher : , 2017

Type : Livre / Book

Type : Thèse / Thesis

Langue / Language : français / French

Nanoélectronique -- Thèses et écrits académiques

Diélectriques -- Thèses et écrits académiques

Spectroscopie de perte d'énergie des électrons -- Thèses et écrits académiques

Classification Dewey : 621.3

Barthe, Marie-France (Directeur de thèse / thesis advisor)

Université d'Orléans (Organisme de soutenance / degree-grantor)

École doctorale Énergie, Matériaux, Sciences de la Terre et de l'Univers (Centre-Val de Loire) (Ecole doctorale associée à la thèse / doctoral school)

Conditions extrêmes et matériaux : haute température et irradiation (Orléans, Loiret) (Laboratoire associé à la thèse / thesis associated laboratory)