Nouvelles perspectives de métrologie dimensionnelle par imagerie de microscope électronique pour le contrôle de la variabilité des procédés de fabrication des circuits intégrés / Amine Lakcher ; sous la direction de Cécile Gourgon

Date :

Type : Livre / Book

Type : Thèse / Thesis

Langue / Language : français / French

Catalogue Worldcat

Circuits intégrés

Semiconducteurs

Microscopie électronique à balayage

Lithographie

Classification Dewey : 620

Gourgon, Cécile (Directeur de thèse / thesis advisor)

Schiavone, Patrick (1961-....) (Président du jury de soutenance / praeses)

Orobtchouk, Régis (Rapporteur de la thèse / thesis reporter)

Jourlin, Yves (1973-....) (Rapporteur de la thèse / thesis reporter)

Hazart, Jérôme (Membre du jury / opponent)

Besacier, Maxime (1975-) (Membre du jury / opponent)

Le Gratiet, Bertrand (Membre du jury / opponent)

Communauté d'universités et d'établissements Université Grenoble Alpes (Organisme de soutenance / degree-grantor)

École doctorale électronique, électrotechnique, automatique, traitement du signal (Grenoble) (Ecole doctorale associée à la thèse / doctoral school)

Laboratoire des technologies de la microélectronique (Grenoble) (Laboratoire associé à la thèse / thesis associated laboratory)