Caractérisation de l'implantation par immersion plasma avec pulsion(r) et intégration dans la fabrication de transistors FD-SOI et Trigate / Julian Duchaine ; directeurs de thèse, Alain Claverie et Franck Torregrosa

Date :

Editeur / Publisher : [S.l.] : [s.n.] , 2012

Type : Livre / Book

Type : Thèse / Thesis

Langue / Language : français / French

Catalogue Worldcat

Ions -- Implantation

MOS (électronique)

Claverie, Alain (Directeur de thèse / thesis advisor)

Université Toulouse 3 Paul Sabatier (1969-....) (Organisme de soutenance / degree-grantor)