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MD simulation of H2 plasma/graphene interaction for innovative etching processes development / Alexandra Davydova ; sous la direction de Gilles Cunge et de Emilie Despiau-Pujo

Date :

Editeur / Publisher : , 2014

Type : Livre / Book

Type : Thèse / Thesis

Langue / Language : anglais / English

Catalogue Worldcat

Dynamique moléculaire -- Thèses et écrits académiques

Graphène -- Thèses et écrits académiques

Classification Dewey : 620

Cunge, Gilles (Directeur de thèse / thesis advisor)

Despiau-Pujo, Emilie (1983-...) (Directeur de thèse / thesis advisor)

Dussart, Rémi (Président du jury de soutenance / praeses)

Université de Grenoble (2009-2014) (Organisme de soutenance / degree-grantor)

École doctorale électronique, électrotechnique, automatique, traitement du signal (Grenoble) (Ecole doctorale associée à la thèse / doctoral school)

Laboratoire des technologies de la microélectronique (Grenoble) (Equipe de recherche associée à la thèse / thesis associated research team)