Fiabilité des diélectriques low-k SiOCH poreux dans les interconnexions CMOS avancées / Emmanuel Chery ; sous la direction de Jean-Marc Chaix et de Fabien Volpi

Date :

Type : Livre / Book

Type : Thèse / Thesis

Langue / Language : français / French

Diélectriques

Classification Dewey : 620

Chaix, Jean-Marc (Directeur de thèse / thesis advisor)

Volpi, Fabien (19..-.... ; physicien spécialiste de la science des matériaux) (Directeur de thèse / thesis advisor)

Montagne, Lionel (Président du jury de soutenance / praeses)

Université de Grenoble (2009-2014) (Organisme de soutenance / degree-grantor)

École doctorale Ingénierie - matériaux mécanique énergétique environnement procédés production (Grenoble) (Ecole doctorale associée à la thèse / doctoral school)

Science et ingénierie des matériaux et procédés (Grenoble) (Laboratoire associé à la thèse / thesis associated laboratory)