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Etude de la dégradation de la protection par des résines photosensibles de la grille métallique TiN lors de gravures humides pour la réalisation de transistors de technologies sub-28nm / Mathieu Foucaud ; sous la direction de Erwine Pargon

Date :

Editeur / Publisher : , 2015

Type : Livre / Book

Type : Thèse / Thesis

Langue / Language : français / French

Catalogue Worldcat

Microélectronique -- Thèses et écrits académiques

Résines photosensibles -- Thèses et écrits académiques

MOS (électronique) -- Thèses et écrits académiques

Classification Dewey : 620

Pargon, Erwine (1977-....) (Directeur de thèse / thesis advisor)

Petit, Jean-Pierre (1955-.... ; électrochimiste) (Président du jury de soutenance / praeses)

Barboux, Philippe (1958-....) (Rapporteur de la thèse / thesis reporter)

Duguet, Étienne (Rapporteur de la thèse / thesis reporter)

Aufray, Maëlenn (1979-....) (Membre du jury / opponent)

Tiron, Raluca (1977-....) (Membre du jury / opponent)

Communauté d'universités et d'établissements Université Grenoble Alpes (Organisme de soutenance / degree-grantor)

École doctorale électronique, électrotechnique, automatique, traitement du signal (Grenoble) (Ecole doctorale associée à la thèse / doctoral school)

Laboratoire des technologies de la microélectronique (Grenoble) (Laboratoire associé à la thèse / thesis associated laboratory)