Etude et développement de microtechnologies sur substrat papier : application à la structuration d'AL2O3 poreux pour la faisabilité d'un capteur d'humidité / Mamadou Saliou Baldé ; sous la direction de Philippe Combette

Date :

Type : Livre / Book

Type : Thèse / Thesis

Langue / Language : français / French

Microélectronique

Microtechniques

Papier

Photolithographie

Dépôt électrolytique

Anodisation

Aluminium -- Anodisation

Humidité -- Mesure

Capteurs (technologie)

Combette, Philippe (19..-....) (Directeur de thèse / thesis advisor)

Bretagnon, Thierry (1960-....) (Président du jury de soutenance / praeses)

Ferrigno, Rosaria (Rapporteur de la thèse / thesis reporter)

Debeda, Hélène (1969-....) (Rapporteur de la thèse / thesis reporter)

Sorli, Brice (1972-....) (Membre du jury / opponent)

Gazagnes, Laetitia (1977-...) (Membre du jury / opponent)

Université des sciences et techniques de Montpellier 2 (1970-2014) (Organisme de soutenance / degree-grantor)

Information, Structures, Systèmes (Montpellier ; École Doctorale ; 2009-2014) (Ecole doctorale associée à la thèse / doctoral school)

Institut d'électronique et des systèmes (Montpellier) (Laboratoire associé à la thèse / thesis associated laboratory)

Résumé / Abstract : L'objectif premier de ce projet est la mise au point de procédés de fabrication microélectroniques/microtechnologiques compatibles avec l'utilisation d'un support papier. Pour cela, des techniques comme l'évaporation thermique sous vide, la photolithographie, l'électrodéposition et l'anodisation d'aluminium ont été développées et adaptées à ce support. Des bancs de caractérisations structurels, électriques et flexibles ont été aussi mis en œuvre pour étudier la fiabilité des couches déposées sur un tel substrat. En application, un capteur d'humidité à base d'oxyde d'aluminium flexible a été fabriqué et les tests en humidité ont montré d'excellents résultats permettant de valider le travail effectué.

Résumé / Abstract : The primary objective of this project is the implementation of microelectronics/microtechnology processes compatible with the use of paper-based substrate. For this purpose, techniques such as thermal vacuum evaporation, photolithography, electroplating and anodizing aluminum have been developed and adapted to this substrate. Structural, electrical and flexible characterizations benches have also been implemented to study the reliability of the layers deposited on such substrate. A moisture sensor based on flexible aluminum oxide was made and humidity tests have shown excellent results which validate the work.