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Etude et développement d'une méthode de recherche pour les sources de contamination chimique des pompes à vide entre les équipements de EUV / Andréa Vinci ; sous la direction de René-Louis Inglebert

Date :

Editeur / Publisher : , 2013

Type : Livre / Book

Type : Thèse / Thesis

Langue / Language : français / French

Nanoélectronique -- Thèses et écrits académiques

Nanotechnologie -- Thèses et écrits académiques

Inglebert, René-Louis (Directeur de thèse / thesis advisor)

Nuta, Ioana (1976-....) (Président du jury de soutenance / praeses)

Université de Grenoble (2009-2014) (Organisme de soutenance / degree-grantor)

École doctorale électronique, électrotechnique, automatique, traitement du signal (Grenoble) (Ecole doctorale associée à la thèse / doctoral school)