Depot de nitrure de silicium assiste par plasma : etude des proprietes structurales du materiau et correlations avec ses proprietes electriques / Gisele Dupont

Date :

Format : 1 microfiche

Type : Livre / Book

Type : Thèse / Thesis

Langue / Language : français / French

Collection : Lille-thèses / Atelier de reproduction des thèses / Lille : Atelier national de reproduction des thèses , 1983-2017

Relation : Dépôt de nitrure de silicium assisté par plasma : étude des propriétés structurales du matériau et corrélations avec ses propriétés électriques / par Gisèle Dupont ; sous la direction de Bernard Despax / [S.l] : [s.n] , [1996]