Méthodes de microscopie interférométrique 3D statiques et dynamiques pour la caractérisation de la technologie et du comportement des microsystèmes / Sylvain Petitgrand ; sous la direction de [Alain Bosseboeuf]

Date :

Editeur / Publisher : [s.l.] : [s.n.] , 2005

Type : Livre / Book

Type : Thèse / Thesis

Langue / Language : français / French

Langue / Language : anglais / English

Catalogue Worldcat

Bosseboeuf, Alain (Directeur de thèse / thesis advisor)

Université de Paris-Sud. Faculté des Sciences d'Orsay (Essonne) (Autre partenaire associé à la thèse / thesis associated third party)

Université Paris-Sud (Organisme de soutenance / degree-grantor)