Development of electrolessly deposited thin films for application in advanced interconnects : Cu seed-layer and seed-less ternary diffusion barriers / Alexandra Wirth ; sous la dir. de Philippe Turek et Paul Rey

Date :

Editeur / Publisher : [S.l.] : [s.n.] , 2002

Type : Livre / Book

Type : Thèse / Thesis

Langue / Language : anglais / English

Catalogue Worldcat

Circuits intégrés -- Thèses et écrits académiques

Couches minces -- Thèses et écrits académiques

Cuivre -- Couches minces -- Thèses et écrits académiques

Turek, Philippe (Directeur de thèse / thesis advisor)

Rey, Paul (19..-.... ; chimiste) (Directeur de thèse / thesis advisor)

Université Louis Pasteur (Strasbourg) (Organisme de soutenance / degree-grantor)