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Etude de la phase initiale de croissance d'agrégats de silicium dans un plasma argon-silane [Texte imprimé] : application à la croissance de couches minces de silicium nanostructurées / par Stéphanie Huet ; [sous la dir. de] M. L. Boufendi,...

Date :

Editeur / Publisher : [S.l.] : [s.n.] , 2001

Type : Livre / Book

Type : Thèse / Thesis

Langue / Language : français / French

Catalogue Worldcat

Couches minces -- Thèses et écrits académiques

Agrégats (cristallographie) -- Thèses et écrits académiques

Silicium -- Thèses et écrits académiques

Boufendi, Laïfa (Directeur de thèse / thesis advisor)

Université d'Orléans (Organisme de soutenance / degree-grantor)