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Etude du recouvrement de marché lors de dépôts lpcvd dans des tranchées submicroniques [Texte imprimé] : expériences et modélisation / Hervé Gris ; sous la direction de Patrick Duverneuil

Date :

Editeur / Publisher : [S.l.] : [s.n.] , 1999

Type : Livre / Book

Type : Thèse / Thesis

Langue / Language : français / French

Catalogue Worldcat

Duverneuil, Patrick (1961-....) (Directeur de thèse / thesis advisor)

Institut national polytechnique (Toulouse) (Organisme de soutenance / degree-grantor)