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Etude du matériau déposé par polymérisation plasma de méthylsilane : application à la lithographie 248 et 193 nm / CEDRIC MONGET ; sous la direction de YVAN SEGUI

Date :

Editeur / Publisher : , 1999

Format : 1 vol. (201 p.)

Type : Livre / Book

Type : Thèse / Thesis

Langue / Language : français / French

Catalogue Worldcat

Ségui, Yvan (Directeur de thèse / thesis advisor)

Université Joseph Fourier (Grenoble) (Organisme de soutenance / degree-grantor)