Étude des ions d'un plasma réactif : effets d'une perturbation harmonique imposée / Brahim Arezki ; [sous la direction de Marc] Fitaire

Date :

Type : Livre / Book

Type : Thèse / Thesis

Langue / Language : français / French

Catalogue Worldcat

Ondes acoustiques ioniques

Fitaire, Marc (Directeur de thèse / thesis advisor)

Université Paris-Sud (1970-2019) (Organisme de soutenance / degree-grantor)

Université de Paris-Sud. Faculté des sciences d'Orsay (Essonne) (Autre partenaire associé à la thèse / thesis associated third party)

Résumé / Abstract : Cette thèse porte principalement sur l’analyse des ions d’un plasma réactif (CF₄) dans une décharge RF. Ces ions extraits au travers d’un orifice sont focalisés, à l’aide d’une optique ionique, à l’entrée d’un spectromètre de masse quadrupolaire fonctionnant en analyseur d’ions. Ce dispositif d’étude a permis de déterminer le flux et l’énergie des ions ainsi que l’effet d’une perturbation harmonique imposée et ceci pour différents paramètres du plasma. La pression de travail varie de 30 à 600 mT, pressions couramment utilisées dans la gravure plasma.