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Dépôt chimique en phase vapeur de siliciures pour la microélectronique / Elisabeth Blanquet ; sous la direction de Claude Bernard

Date :

Editeur / Publisher : 1 vol. () , [1990]

Type : Livre / Book

Type : Thèse / Thesis

Langue / Language : français / French

Catalogue Worldcat

Bernard, Claude (19..-.... ; auteur en thermodynamique) (Directeur de thèse / thesis advisor)

Institut national polytechnique (Grenoble) (Organisme de soutenance / degree-grantor)