Comptes rendus des travaux du CIPG 89 / 7ème Colloque international sur les plasmas et la pulvérisation cathodique ; 5ème Symposium international sur la gravure sèche et le dépot plasma en microélectronique ; organisés par le Comité Couches minces, matériaux et technologies pour l'électronique de la Société française du vide..., 5-9 juin 1989, Antibes (France)
Date : 1989
Editeur / Publisher : Paris : Société française du vide , 1989
Type : Livre / Book
Langue / Language : français / French
Langue / Language : anglais / English
Plasmas (gaz ionisés)
Pulvérisation cathodique
Gravure par plasma