Ultra-trace analysis of contaminants on silicon wafer surfaces : the development of a Synchrotron Radiation - Total reflection X-Ray Fluorescence (SR-TXRF) facility at the ESRF = = Analyse des traces des contaminants à la surface des plaquettes de silicium : développement d'un instrument pour SR-TXRF à l'ESRF : / Giorgio Apostolo ; sous la direction de Joël Chevrier et Fabien Comin

Date : 2001

Type : Livre / Book

Langue / Language : anglais / English

Rayonnement synchrotron

Fluorescence

Rayons X

Semiconducteurs

Apostolo, Giorgio (19..-.... ; auteur en physique) (Auteur / author)

Chevrier, Joël (19..-.... ; auteur en matière rayonnement) (Directeur de thèse / thesis advisor)

Comin, Fabio (19..-....) (Directeur de thèse / thesis advisor)

Régnard, Jean-René (19..-.... ; physicien) (Président du jury de soutenance / praeses)

Streli, Christina (19..-....) (Rapporteur de la thèse / thesis reporter)

Chevallier, Pierre (19..-.... ; auteur en physique) (Rapporteur de la thèse / thesis reporter)

Tardif, François (1959-....) (Membre du jury / opponent)

Université Joseph Fourier (Grenoble ; 1971-2015) (Organisme de soutenance / degree-grantor)

European synchrotron radiation facility (Grenoble, Isère, France ; 1988-....) (Laboratoire associé à la thèse / thesis associated laboratory)

Relation : Ultra-trace analysis of contaminants on silicon wafer surfaces : the development of a Synchrotron Radiation - Total reflection X-Ray Fluorescence (SR-TXRF) facility at the ESRF = = Analyse des traces des contaminants à la surface des plaquettes de silicium : développement d'un instrument pour SR-TXRF à l'ESRF : / Giorgio Apostolo ; sous la direction de Joël Chevrier et Fabien Comin / Grenoble : Atelier national de reproduction des thèses , 2001