Multilayer monochromators for EUV and X-ray optics and the interface characterization / Yuchun Tu ; sous la direction de Philippe Jonnard et de Jingtao Zhu

Date :

Type : Livre / Book

Type : Thèse / Thesis

Langue / Language : anglais / English

Monochromateurs

Fluorescence induite par laser

Classification Dewey : 541.3

Jonnard, Philippe (19..-....) (Directeur de thèse / thesis advisor)

Zhu, Jingtao (Directeur de thèse / thesis advisor)

Dubois, Alain (19..-.... ; chimiste) (Membre du jury / opponent)

Jie, Wanqi (19..-....) (Membre du jury / opponent)

Zhao, Li (19..-.... ; membre du jury d'une thèse en chimie physique et chimie analytique) (Membre du jury / opponent)

Mu, Baozhong (19..-.... ; membre du jury d'une thèse en chimie physique et chimie analytique) (Membre du jury / opponent)

Sun, Jianfeng (19..-....) (Membre du jury / opponent)

Zeng, Xianglong (19..-....) (Membre du jury / opponent)

Université Pierre et Marie Curie (Paris ; 1971-2017) (Organisme de soutenance / degree-grantor)

Tongji university (Shanghai, Chine) (Organisme de cotutelle / degree co-grantor)

École doctorale Chimie physique et chimie analytique de Paris Centre (Paris ; 2000-....) (Ecole doctorale associée à la thèse / doctoral school)

Laboratoire de chimie physique-matière et rayonnement (Paris ; 1997-....) (Laboratoire associé à la thèse / thesis associated laboratory)

Résumé / Abstract : Dans cette thèse, nous avons étudié plusieurs combinaisons de matériaux et quelques méthodes d’ingénierie des interfaces : introduction de barrières de Zr dans les multicouches Co/Mg ; pulvérisation réactive des multicouches Co/Ti ; incorporation de B et C dans les multicouches Cr/Ti and remplacement de Mo par Mo2C dans le système Mo/B4C. Les propriétés des interfaces enterrées ont pu être étudiées en combinant XRR, XPS, TEM, etc. De plus, un modèle pour analyser les empilements a été développé en se basant sur la fluorescence X induite par ondes stationnaires. Pour les multicouches à base de Co, nous avons effectué des mesures RMN pour comprendre le comportement des atomes de cobalt dans les empilements. Ces méthodes se révèle des outils puissants pour analyser les multicouches sans dommages.

Résumé / Abstract : In this thesis, we study several material combinations and some interface engineering methods...