Étude de MEMS piézoélectriques libérés et microstructurés par sérigraphie : application à la détection en milieu gazeux et en milieu liquide / Christophe Castille ; sous la direction de Mario Maglione et de Claude Lucat

Date :

Type : Livre / Book

Type : Thèse / Thesis

Langue / Language : français / French

Systèmes microélectromécaniques

Matériaux piézoélectriques

Couches épaisses (électronique)

Capteurs (technologie)

Classification Dewey : 530

Classification Dewey : 620

Maglione, Mario (1958-.... ; auteur en physique) (Directeur de thèse / thesis advisor)

Lucat, Claude (1950-....) (Directeur de thèse / thesis advisor)

Cattan, Eric (1964-....) (Rapporteur de la thèse / thesis reporter)

Pijolat, Christophe (1953-.... ; auteur en génie des procédés) (Rapporteur de la thèse / thesis reporter)

Bosseboeuf, Alain (19..-....) (Membre du jury / opponent)

Guyomar, Daniel (19..-.... ; auteur en électronique) (Membre du jury / opponent)

Dufour Dabadie, Isabelle (1966-.... ; physicienne) (Membre du jury / opponent)

Université Bordeaux-I (1971-2013) (Organisme de soutenance / degree-grantor)

École doctorale des sciences physiques et de l’ingénieur (Talence, Gironde) (Ecole doctorale associée à la thèse / doctoral school)

Résumé / Abstract : Résumé

Résumé / Abstract : Abstract