Implantation ionique de bore dans du silicium préamorphise : réalisation, modélisation et caractérisation de jonctions P+-N ultra-minces / Christian Bergaud

Date :

Format : 1 microfiche

Type : Livre / Book

Type : Thèse / Thesis

Langue / Language : français / French

Collection : Lille-thèses / Atelier de reproduction des thèses / Lille : Atelier national de reproduction des thèses , 1983-2017

Relation : Implantation ionique de bore dans du silicium préamorphisé : réalisation, modélisation et caractérisation de jonctions p+/n ultra-minces / par Christian Bergaud ; sous la direction de A. Martinez / [Lieu de publication inconnu] : [s.n] , [1994]