Studies of electronic and sensing properties of epitaxial InP surfaces for applications in gas sensor devices / Wierbowska Katarzyna Barbara ; sous la direction de Pauly Alain, Bideux Luc, Adamowicz Boguslawa

Date :

Editeur / Publisher : [S. l.] : [s. n.] , 2007

Type : Livre / Book

Type : Thèse / Thesis

Langue / Language : anglais / English

Phosphure d'indium

Pollution atmosphérique

Environnement -- Études d'impact

Détecteurs de gaz

Détecteurs de produits chimiques

Microscopie à force atomique

Spectroscopie

Microscopie électronique

Oxydes

Semiconducteurs

Couches minces

Électrons

Calculs numériques

Pauly, Alain (Directeur de thèse / thesis advisor)

Bideux, Luc (Directeur de thèse / thesis advisor)

Adamowicz, Boguslawa (19..-....) (Directeur de thèse / thesis advisor)

Université Blaise Pascal (Clermont-Ferrand ; 1976-2016) (Organisme de soutenance / degree-grantor)

Relation : Studies of electronic and sensing properties of epitaxial InP surfaces for applications in gas sensor devices / Wierbowska Katarzyna Barbara ; sous la direction de Pauly Alain, Bideux Luc, Adamowicz Boguslawa / Grenoble : Atelier national de reproduction des thèses , 2007

Résumé / Abstract : Cette thèse est consacrée à l'étude de la physico-chimie des structures électroniques et microélectroniques à base de phosphure d'indium (InP). Le contexte scientifique de cette étude est d'abord abordé dans une description de la pollution atmosphérique ainsi que de sa métrologie. Les propriétés physico-chimiques et électroniques de InP sont particulièrement détaillées. Les structures des capteurs de gaz en cours de développement pour cette application sont ensuite répertoriées. Les méthodes de caractérisation chimique (spectroscopie de surface XPS et Auger, microscopie à force atomique AFM) et électronique (Van der Pauw) ainsi que l'analyse théorique des propriétés électroniques des couches minces sont également présentées. Enfin, des mesures en laboratoire à température et concentration variables de NO2 proches de celles rencontrées dans une atmosphère urbaine sont présentées. Les résultats obtenus suite à l'analyse théorique et aux différentes expériences ont montré le rôle prédominant des oxydes natifs présents à la surface de InP sur les réponses des capteurs. Ces derniers interviennent également sur la stabilité de la réponse aux gaz, tout comme leurs propriétés physico-chimiques. Les résultats des caractérisations électroniques et chimiques corroborent les résultats des essais des capteurs et permettent une modélisation de l'action du gaz sur InP