Applications optiques de couches minces de chalcogénures / Adam Fuchs ; sous la direction de Jochen Fick

Date :

Type : Livre / Book

Type : Thèse / Thesis

Langue / Language : français / French

Fick, Jochen (19..-.... ; auteur en physique) (Directeur de thèse / thesis advisor)

Institut national polytechnique (Grenoble ; 1900-....) (Organisme de soutenance / degree-grantor)

Relation : Applications optiques de couches minces de chalcogénures / Adam Fuchs ; sous la direction de Jochen Fick / Grenoble : Atelier national de reproduction des thèses , 2005

Résumé / Abstract : Des couches minces adhérentes d’As-S, d’As-Se et de Ge-As-Se dopées erbium ont été obtenues par pulvérisation cathodique RF. Une étude morphologique a montré la présence de structures homogènes pour les couches d’As-S et d’As-Se, et des structures colonnaires pour les couches de Ge-As-Se. La photoluminescence (PL) à 1,55 µm a été détectée dans le volume sur toutes les compositions. La PL a été aussi observée en configuration guidée pour des couches d’As-S. La fabrication de guides d’onde canaux et de réseaux de diffraction a été entreprise par photo-dopage à l’argent. La gravure humide a été également utilisée pour fabriquer des guides canaux. Un confinement de la lumière à 1,55 µm a été observé.

Résumé / Abstract : Erbium-doped As-S, As-Se and Ge-As-Se layers were obtained with RF sputtering. A morphological study showed the presence of homogeneous structures for As-S and As-Se layers and column-like structures for Ge-As-Se layers. The Photoluminescence (PL) at 1,55 µm was detected in free-space configuration for all compositions. The PL was also observed in guided configuration for As-S layers. Channel waveguides and optical gratings fabrication was made with Ag photo-doping. Wet etching was also used to fabricate channel waveguides. Waveguiding properties at 1,55 µm were observed.