Dépôt par activation plasma de matériaux diélectriques sur substrat semi-conducteur pour les nouvelles technologies submicroniques : Optimisation d'un réacteur industriel / Marie Anne Pellegrin-Guillemot de Nerville ; sous la dir. de Georges Bougnot

Date : 1995

Editeur / Publisher : [S.l.] : [s.n.] , 1995

Type : Livre / Book

Langue / Language : français / French

Diélectriques

Dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma

Silice

Semiconducteurs -- Effets des plasmas

Guillebot de Nerville, Marie Anne (1963-...) (Auteur / author)

Bougnot, Georges (19..-....) (Directeur de thèse / thesis advisor)

Université des sciences et techniques de Montpellier 2 (1970-2014) (Organisme de soutenance / degree-grantor)

Relation : Dépôt par activation plasma de matériaux diélectriques sur substrat semi-conducteur pour les nouvelles technologies submicroniques : Optimisation d'un réacteur industriel / Marie Anne Pellegrin-Guillemot de Nerville ; sous la direction de Georges Bougnot / Grenoble : Atelier national de reproduction des thèses , 1995