Etude des précurseurs gazeux de couches minces en carbone déposées à partir de phases gazeuses activées thermiquement et par plasma / par Olivier Aubry ; [sous la dir. de] C. Vovelle,...

Date :

Editeur / Publisher : [S.l.] : [s.n.] , 2002

Type : Livre / Book

Type : Thèse / Thesis

Langue / Language : français / French

Diamant -- Couches minces

Carbone -- Couches minces

Spectroscopie de masse

Faisceaux moléculaires

Vovelle, Christian (Directeur de thèse / thesis advisor)

Université d'Orléans (1966-....) (Organisme de soutenance / degree-grantor)

Relation : Etude des précurseurs gazeux de couches minces en carbone déposées à partir de phases gazeuses activées thermiquement et par plasma / par Olivier Aubry / Villeurbanne : [CCSD] , 2006

Relation : Etude des précurseurs gazeux de couches minces en carbone déposées à partir de phases gazeuses activées thermiquement et par plasma / par Olivier Aubry ; [sous la direction de] C. Vovelle,... / Grenoble : Atelier national de reproduction des thèses , 2002

Résumé / Abstract : L'optimisation des procédés CVD et CVI, en vue d'accroître la vitesse de dépôt et d'améliorer leur qualité, nécessite une bonne connaissance de la nature et de la concentration des espèces présentes en phase gazeuse. Deux types de dépôts de carbone ont été considérés : les films diamant obtenus à partir de phases gazeuses activées par plasma micro-onde et les pyrocarbones (laminaires lisses et rugueux) issus de la pyrolyse du propane. La spectrométrie de masse avec prélèvement par faisceau moléculaire a été utilisée pour l'analyse des espèces présentes : atomes, radicaux et molécules. L’influence de la composition du mélange réactif (en PACVD), du débit total et de la présence de surfaces solides ou poreuses sur les espèces gazeuses a été particulièrement étudiée pour identifier les précurseurs des films diamant et des pyrocarbones.