Conception et réalisation d'un micro-filtre accordable de type Fabry-Perot intégré sur silicium / Sylvie Jarjayes ; sous la dir. de M. de Labachelerie

Date :

Editeur / Publisher : [S.l.] : [s.n.] , 2000

Format : 141 p.

Type : Livre / Book

Type : Thèse / Thesis

Langue / Language : français / French

Télécommunications optiques

Labachelerie, Michel de (1959-....) (Directeur de thèse / thesis advisor)

Université de Franche-Comté. UFR des sciences et techniques (Autre partenaire associé à la thèse / thesis associated third party)

Université de Franche-Comté (1971-....) (Organisme de soutenance / degree-grantor)

Relation : Conception et réalisation d'un micro-filtre accordable de type Fabry-Perot intégré sur silicium / Sylvie Jarjayes ; sous la direction de M. de Labachelerie / Grenoble : Atelier national de reproduction des thèses , 2000

Résumé / Abstract : Le but de cette thèse est la conception, la fabrication et la caractérisation de micro-filtres spectraux accordables, de type "Fabry-Perot", intégrés sur silicium. Ces composants sont utilisés pour deux types d'applications présentés au chapitre I : l'analyse de gaz et les télécommunications optiques. Afin de répondre aux spécifications de cette dernière application, très contraignante en terme de sélectivité, nous proposons l'utilisation d'une cavité optique de grande épaisseur, comportant deux miroirs de forte réflectivité dont l'un est rendu mobile grâce à un actionnement de type électrostatique. Le chapitre II présente les concepts théoriques (en optique, micromécanique et électrostatique) utilisés pour le dimensionnement des composants et l'analyse de leurs caractéristiques opto-mécaniques. Dans le chapitre III, on s'intéresse à la fabrication des filtres Fabry-Perot. La principale difficulté a consisté à réaliser des miroirs mobiles obtenus par adhésion moléculaire...