Dépôt chimique en phase vapeur à partir d'organométalliques de revêtements métallurgiques : application au carbonitrure de chrome et à l'alumine sur acier / par Liliana Dumitrescu ; sous la direction de Nicolae Petrescu et de Francis Maury

Date :

Editeur / Publisher : [S.l.] : [s.n.] , 1999

Type : Livre / Book

Type : Thèse / Thesis

Langue / Language : français / French

Revêtement métallique

Chimie physique et théorique

Alumine

Petrescu, Nicolae (Directeur de thèse / thesis advisor)

Maury, Francis (19..-.... ; chargé de recherche) (Directeur de thèse / thesis advisor)

Institut national polytechnique (Toulouse ; 1969-....) (Organisme de soutenance / degree-grantor)

Universitatea politehnica (Bucarest) (Organisme de cotutelle / degree co-grantor)

Relation : Dépôt chimique en phase vapeur à partir d'organométalliques de revêtements métallurgiques : application au carbonitrure de chrome et à l'alumine sur acier / par Liliana Dumitrescu ; sous la direction de Nicolae Petrescu et de Francis Maury / Grenoble : Atelier national de reproduction des thèses , 1999

Résumé / Abstract : Des revêtements durs réfractaires à caractère métallique (Cr-C-N) et ionique (Al2O3) (Al exponant 2 O exponant 3) ont été déposés par MOCVD sur divers substrats en acier. Les films Cr-C-N ont été déposés à basse température (300-520°C) à partir du précurseur moléculaire Cr(NEt2)4 (Cr(NEt exponant 2)exponant 4. Les caractéristiques physico-chimiques et structurales et les propriétés (dureté, résistivité électrique, rugosité) des films ont été analysées en fonction des conditions de dépôt. Un mécanisme de décomposition du précurseur Cr(NEt2)4 (Cr(NEt exponant 2) exponant 4) expliquant la grande labilité des groupements NEt2 (NEt exponant 2) qui est à l'origine de la faible teneur en azote des films a été proposé. Le travail présenté dans ce mémoire montre la bonne flexibilité et les potentialités des procédés MOCVD soit pour élaborer des phases originales, telle que Cr3(C,N)2 (Cr exponant 3 (C,N)exponant 2), soit pour être l'une des étapes d'un multi-procédé de fabrication (cas de Al2O3) (cas de Al exponant 2 O exponant 3).