CARACTERISATION DE STRUCTURES MIS PAR METHODES ELECTRIQUES ET PAR ELLIPSOMETRIE SPECTROSCOPIQUE : APPLICATION AU TRANSISTOR A EFFET DE CHAMP SUR INP / JEAN-PHILIPPE PIEL ; sous la direction de ANDRE FORTINI

Date :

Editeur / Publisher : [Lieu de publication inconnu] : [Éditeur inconnu] , 1987

Type : Livre / Book

Type : Thèse / Thesis

Langue / Language : français / French

Fortini, André (Directeur de thèse / thesis advisor)

Université de Caen Normandie (1971-....) (Organisme de soutenance / degree-grantor)

Relation : CARACTERISATION DE STRUCTURES MIS PAR METHODES ELECTRIQUES ET PAR ELLIPSOMETRIE SPECTROSCOPIQUE : APPLICATION AU TRANSISTOR A EFFET DE CHAMP SUR INP / Jean-Philippe Piel ; sous la direction de Andre Fortini / Grenoble : Atelier national de reproduction des thèses , 1987

Résumé / Abstract : ON CARACTERISE A L'AIDE DE DEUX TECHNIQUES PLUSIEURS TYPES DE DEPOTS D'ISOLANTS (SIO::(2) ET SI::(3)N::(4)) SUR INP SUSCEPTIBLES DE L'INTEGRER DANS LA TECHNOLOGIE DU TRANSISTOR A EFFET CHAMP A GRILLE ISOLEE. ON EVALUE, PAR LA MESURE DE L'ADMITTANCE DES STRUCTURES MIS, LE PROFIL DE DENSITE D'ETATS D'INTERFACE PAR LA METHODE DE LA CONDUCTANCE DE NICOLLIAN ET GOETZBERGER. LA SECONDE METHODE, PAR ELLIPSOMETRIE SPECTROSCOPIQUE CONSISTE A ETUDIER LA REPONSE OPTIQUE DE LA STRUCTURE ISOLANT-SEMICONDUCTEUR SOUMIS A UN FAISCEAU LUMINEUX POLARISE RECTILIGNEMENT. ON DECRIT EN DETAIL L'ENSEMBLE DES CORRECTIONS A APPORTER AUX MESURES BRUTES AFIN DE TENIR COMPTE DES LIMITATIONS DE L'INSTRUMENT. LES SPECTRES EXPERIMENTAUX SONT INTERPRETES A L'AIDE D'UN MODELE MULTICOUCHE