Obtention et étude de couches minces de siliciures de métaux réfractaires / Anne Bouteville Richard ; sous la direction de J. C. Remy

Date :

Type : Livre / Book

Type : Thèse / Thesis

Langue / Language : français / French

Siliciures

Université d'Angers (1972-....) (Organisme de soutenance / degree-grantor)

Relation : Obtention et étude de couches minces de siliciures de métaux réfractaires / Anne Bouteville Richard ; sous la direction de J. C. Remy / Grenoble : Atelier national de reproduction des thèses , 1987

Résumé / Abstract : Les couches minces de siliciures de métaux réfractaires sont utilisées en microélectronique. Le dépôt chimique en phase vapeur permet un excellent recouvrement de marche et la possibilité de dépôt sélectif. Cette étude traite de l'obtention par cette méthode à basse pression de couches minces de siliciures de TA et de TI et de leur étude. Mise au point du procédé, influence d'un traitement de recuit et étude du mécanisme de croissance.