Croissance et structure de couches minces nanocristallines de silicium et de germanium déposées à l'aide de décharges luminescentes / Christian Godet ; [sous la direction de Bernard] Drévillon

Date :

Type : Livre / Book

Type : Thèse / Thesis

Langue / Language : français / French

Germanium

Couches minces semiconductrices

Décharges luminescentes

Matériaux nanostructurés

Drévillon, Bernard (1946-....) (Directeur de thèse / thesis advisor)

Université Paris-Sud (1970-2019) (Organisme de soutenance / degree-grantor)

Université de Paris-Sud. Faculté des sciences d'Orsay (Essonne) (Autre partenaire associé à la thèse / thesis associated third party)

Relation : Croissance et structure de couches minces nanocristallines de silicium et de germanium déposées à l'aide de décharges luminescentes / Christian Godet ; [sous la direction de Bernard] Drévillon / Grenoble : Atelier national de reproduction des thèses , 1987

Résumé / Abstract : Caractérisation de couches minces si et ge nanocristallines (microcristallines) déposées à l'aide de décharges luminescentes dans les mélanges (sih::(4), h::(2)) et (geh::(4), h::(2)). Le choix de h::(2) comme gaz porteur et le contrôle de la polarisation des supports permettent d'étudier deux types d'interaction à l'interface plasma solide : la gravure préférentielle de la phase amorphe résiduelle par l'hydrogène atomique et le bombardement de la surface par les ions positifs. Étude de l'histoire (germination et croissance) les films par ellipsométrie spectroscopique in-situ et conclusions qui peuvent en être tirées