ETUDE DE LA NEUTRALISATION DU BORE ET DE CERTAINES IMPURETES METALLIQUES (OR, TITANE, MANGANESE, CHROME) PAR IMPLANTATION D'HYDROGENE DANS LE SILICIUM MONOCRISTALLIN / THIERRY ZUNDEL ; sous la direction de PAUL SIFFERT
Date : 1987
Editeur / Publisher : [Lieu de publication inconnu] : [Éditeur inconnu] , 1987
Type : Livre / Book
Type : Thèse / ThesisLangue / Language : français / French
Siffert, Paul (Directeur de thèse / thesis advisor)
Relation : ETUDE DE LA NEUTRALISATION DU BORE ET DE CERTAINES IMPURETES METALLIQUES (OR, TITANE, MANGANESE, CHROME) PAR IMPLANTATION D'HYDROGENE DANS LE SILICIUM MONOCRISTALLIN / Thierry Zundel ; sous la direction de Paul Siffert / Grenoble : Atelier national de reproduction des thèses , 1987
Résumé / Abstract : L'HYDROGENE IMPLANTE DANS SI:B, ENTRE 80 ET 140**(O)C NEUTRALISE LE DOPANT PAR FORMATION D'UN COMPLEXE BH ELECTRIQUEMENT INACTIF. ETUDE DES CONDITIONS D'INCORPORATION DE L'HYDROGENE ET DU PROCESSUS DE REACTIVATION DU DOPANT. EFFET DU TRAITEMENT D'HYDROGENATION SUR LES NIVEAUX D'ENERGIE DES IMPURETES. EFFET D'UN RECUIT THERMIQUE A 495**(O)C