MECANISMES DE FORMATION DE COUCHES MINCES D'OXYDES EN PLASMA D'OXYGENE / BRIGITTE PELLOIE LE DUIGOU ; sous la direction de JACQUES PERRIERE

Date : 1987

Editeur / Publisher : [Lieu de publication inconnu] : [Éditeur inconnu] , 1987

Type : Livre / Book

Langue / Language : français / French

Perrière, Jacques (Directeur de thèse / thesis advisor)

Université Paris Diderot - Paris 7 (1970-2019) (Organisme de soutenance / degree-grantor)

Relation : MECANISMES DE FORMATION DE COUCHES MINCES D'OXYDES EN PLASMA D'OXYGENE / Brigitte Pelloie Le Duigou ; sous la direction de Jacques Perriere / Grenoble : Atelier national de reproduction des thèses , 1987

Résumé / Abstract : ETUDE DES PROCESSUS DE TRANSPORT IONIQUE SOUS FORT CHAMP ELECTRIQUE, LORS DE LA CROISSANCE DE COUCHES MINCES D'OXYDES, OBTENUS A TEMPERATURE AMBIANTE, PAR POLARISATION ANODIQUE D'UN SUPPORT METALLIQUE OU SEMICONDUCTEUR EN PLASMA D'OXYGENE. INVESTIGATIONS BASEES SUR LA MICROANALYSE NUCLEAIRE ET SES APPLICATIONS TELLES QUE LE TRACAGE ISOTOPIQUE, ET LA MESURE DE NOMBRES DE TRANSPORT IONIQUE