Date : 1990
Editeur / Publisher : [S.l.] : [s.n.] , 1990
Type : Livre / Book
Type : Thèse / ThesisLangue / Language : français / French
Dépôt chimique en phase vapeur
Résumé / Abstract : L'OBJECTIF DE CETTE ETUDE EST DE MONTRER QUE LE DEPOT CHIMIQUE A PARTIR D'UNE PHASE GAZEUSE PERMET L'OBTENTION DE MATERIAUX SIC-TIC DISPERSOIDES A CARACTERISTIQUES CONTROLEES. AU COURS D'UNE ETUDE THERMODYNAMIQUE DU SYSTEME SI-TI-C, LES ENTHALPIES LIBRES DE LA PHASE TERNAIRE TL(TI#3SI#2C#2) ET DE LA SOLUTION SOLIDE T#2(TI#5SI#3CX) ONT ETE ESTIMEES. A PARTIR DE CES DONNEES, UNE DEMARCHE PREVISIONNELLE EXPLOITANT LE NOMBRE DE DEGRE DE LIBERTE DU SYSTEME SI-TI-CL-H A SERVI DE GUIDE AU CHOIX DU MELANGE DE PRECURSEURS GAZEUX POUR LE DEPOT CHIMIQUE: LA COMBINAISON SIH#2CL#2-TICL#4-TICL#4-C#4H#10-H#2 A ETE RETENUE. A PARTIR DE CETTE PHASE GAZEUSE LES REVETEMENTS ONT ETE ELABORES SUR UN SUBSTRAT EN MOLYBDENE DANS UN REACTEUR A PAROIS FROIDES. LES ANALYSES PAR DIFFRACTION DES RAYONS X (ETAT CRISTALLIN, ORIENTATION PREFERENTIELLE), PAR MICROSONDE ELECTRONIQUE (COMPOSITION ELEMENTAIRE), PAR MICRORAMAN, ONT MIS EN EVIDENCE L'INFLUENCE DES PRESSIONS PARTIELLES DE TICL#4 ET SIH#2CL#2 SUR LA MORPHOLOGIE DES DEPOTS AIGUILLEE ET COLONNAIRE. LA MICROSCOPIE ELECTRONIQUE EN TRANSMISSION A PERMIS D'ACCEDER A L'ARRANGEMENT DES PHASES EN PRESENCE. LA DISTRIBUTION NANOMETRIQUE OBSERVEE, COMPTE TENU DE LA MULTIPLICITE DES INTERFACES, SEMBLE TRES PROMETTEUSE VIS-A-VIS DU COMPORTEMENT MECANIQUE. LES INDENTATIONS REALISEES ONT MONTRE QUE LA DURETE DES MULTIPHASES ETAIT FORTEMENT DIMINUEE PAR RAPPORT A CELLE DES CARBURES CONSTITUTIFS