Date : 1988
Type : Livre / Book
Type : Thèse / ThesisLangue / Language : anglais / English
Langue / Language : français / French
Résumé / Abstract : Optimisation de la preparation a 350**(o)c par decharge luminescente multipolaire a 50 khz de couches minces de silicium microcristallin hydrogene, afin d'obtenir des fractions cristallines superieures a 90 % pour des tailles de grain de l'ordre de 200 a. Les proprietes electroniques des echantillons (absorption optique et phenomenes de transport) a ete correle aux resultats de mesures rx, microscopie electronique a balayage, diffusion raman et spectrometrie ir, rpe, s.i.m.s. Le materiau non dope, d'une teneur en hydrogene inferieure a 2 % contient moins de 10**(17) liaisons disponibles par cm**(3). L'introduction de gaz dopants dans la decharge provoque l'apparition d'une phase amorphe